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什么是MEMS?
借助于这种微小的机械系统,一些来自环境中的信号可以被转换为机械系统中的一种运动状态。以MEMS加速度传感器为例,这是一种最简单的MEMS惯性传感器,其原理是将设备所具有的加速度状态转化为一种机械位移。而一旦这种MEMS设备内的机械位移的量被测得,与其相关的加速度的大小也将能够得知。一种普遍的测量位移量的方法是测量一组平行板电极的电容值变化,因为电容值是一个和电容板间距有关的函数,可以利用机械系统内的位移量改变电容板间距,那么位移量的变化就可以在电容值的变化上得以体现。通过MEMS,一种电容信号和加速度信号之间的联系得以建立,同时也是通过MEMS,这些来自外部环境中的信号经由微型的机械系统,被转换成电容这种典型的电子信号。这就是MEMS设备工作原理的本质。